플라즈마기술

실리콘 플라즈마 표면처리

지현민 2020.12.21 17:37 조회 34

실리콘  플라즈마처리기술

실리콘 박막은 반도체 산업에서 그 동안 광범위하게 사용되어 왔으며, 특히 최근 중요한 것은 다결정 실리콘 태양전지의 패시션 층으로 사용되고 있다. 태양 전지 성능을 더욱 향상시키기 위해 장치 안정성뿐만 아니라 장기적인 신뢰성을 높이기 위해 상단 표면 실리콘 필름의 유전체 재료가 가장 중요한 문제 중 하나가됩니다. 또한, 플라즈마 처리는 많은 산업 응용 분야에서 표면 처리, 에칭 및 증착 공정으로 채택되었다 .플라즈마 처리는 접착의 향상을 위해 아주 능률적인 것으로 입증되엇다. 이에 대한 주된 이유는 플라즈마에 존재하는 정력 이온, 광자 및 자유 래디칼에 의해 제어되는 플라즈마 표면 상호 작용이 시너지 효과 에서 작용하기 때문입니다. ​